哈濱工業大學150001李文卓趙萬生勝利石油學校257000于云霞外生產廠家和研究機構的已經商品化和正在研制中的幾種微細電火花加工機床的構成功能技長要點和典型應用，希望能為從事徵細電火花加工機床的研制者提供有價值的信息。

幾有叵大應用前設的微機電系統的制造設備目前在國際上有兩大潮流技術，種是由半導體制造工藝衍生而來的硅平面工藝技術，其典型代有10人選擇性蝕刻等，這種技術適合于將微傳感器微執行器和微信息處理器集于個微小單元，非常適合于大批生產；3種是由傳統加技術包括特種加技術衍生而來的；加1技術，其典型代技術可以加工硅平血工藝技術準以加的各種復雜維曲面，并可加工金屬材料和各種難加工材料，尤其適合于中小批量零件的個性加工眾多發達國家采取兩者并重的策略，以充分發揮各自的優點作為微機電系統制造技術的個重要分支，新甩微細電火花加工機床的研制也就受到廣泛的重視目前，發達國家的微細電火花機床有些己進工業應用和商業銷售階段，如日本松下精機瑞士夏米芯美，威廉斯等公司都有較成熟的產品，其中以1木松1精機的產品性能優越。該產品能穩定加工只少，1的小孔2，代著這領域的前沿，但其價格非常昂貴，大約需要20萬美兀左右，且被列為對我國禁運產品。另外日本東京大學的增澤隆久豐田工業大學的毛利尚武等學者正在研制開發中的系統或裝置也都具有很高的水平，為該研究方向上的主要代國內對微細電火花的研究，主要是結合實際生產的需要，集中在微孔加工上。比如噴汕嘴電火花小孔加工等大多沒進真1的工業應用和商業銷售階段在這方面南京航空航天大學起步較早，研，也比較系統。首次在，內加工出孔徑只1少1深徑比為31的微細孔4；沾華大學研制了種采用蠕動式微進給機構的微細電火花加工機床。加工出接驅動裝置3！在當今實現我國工業現代化的過程中，盡快研制具有獨立自主知識產權的微細電火花加1機濃己成為我，微細制造領域的當務之總，微細電火花加工的特點及要求微小零件的尺寸小，剛度低，很難用傳統加工方法加工，而在電火花加工中，電極與工件的宏觀作用力很小，大約在數百毫牛到數十毫牛，之間，若再配以精密的伺服進給機構和微能放電電源，電火花加工非常適合微細加1微細電火花加工技術能在保證零件加1梢度的，時，還具有更高的加工效率，這是其他加工方法如超聲加工等所不可比擬的為進步提高零件的加工精度，類似于加工中心的精密多功能微細電火花加工機床受到青，在這種多功能電火花加1機床上，從微細電極的制作到微細零件的加工，電極只需次裝夾，可減小多次裝夾電極所帶來的安裝誤差，并且可通過，電極的重新加工來修正機床的系統誤差和被損耗電極的形狀誤差，從而提高零件的加工精度還可實現電火花線電極磨削加工電火花復雜形狀微細孔加工及屯火花銑削加工等功能，配以。多軸聯動技術。即可實現復雜的微細電火花維型體加衛因微細零件重新裝夾定位困難，還可根據工作需要，將電化學加工電鑄加工甚至微細切削力工微機電系統的在線測量裝配調試等集于體，從而構成個微機電系統的柔性制造中心下面介紹幾種典型微細電火花加4幾床的構成功能技術要點和加實例日本松下精機生產的郎挪是種高精度的微細電火花加工機床6，也是目前商業銷售中精度較高的微細電火花機床，該機床的實物照片如爾濱工業大學特種加工研宄所也研制了多種電極直元兩部分

為便于觀察微加工狀態，該機床配有顯微鏡。

此外，還配有線電極磨削單元。線電極磨削呢山加的作意3所七10冗82的加工小單元是由可2向移動的加工頭和可1向和方向移動工作臺組成。其卞耍性能指標1衣；82認主加工單元性能指標700825主軸電機1電機無編碼盤重量18找由承V陶瓷軸承加工箱尺寸mml42尤行程范圍2001打亍程范圍50n yiifL顯微鏡范圍傳感恐加廠主單元0控制肀元閣2松082機床內部構成182你的屯火花放電電源采用只0微能弛張式電源其最小脈沖能從為犯是傳統電火花加工電源能量的0到00為了減少寄生電容對加工過程的影響。機床采目陶瓷村料做主要零件在182可進行電火花鉆酏銑酏磨削線電極磨削成型加工等多種電火花加工，可穩定地加工出13的微細軸和1打的微小孔，面粗敢可達及，1私1如微孔和微縫的樣件照片。該機床可用于各種微小軸維曲面型腔的加工，適用于微加速度計微力傳感器微噴頭等微機電系統的研制生產7！

掃描式微電火花加工機床武3人開發的種新型微電火芘加工機床照片由度和高剛度等特點，在此被用作微電火花加工終端馳動器。使之產生掃描運動。

舊5描式機床照幾16掃描式機床構成7為該機床的加工意，8是用該機床加工的微型十字槽和圓形槽微電火花加工電極具有3個自由度，即沿7方向的2個傾斜運動和1個沿2了向的移動，配各種形式和各種自由度的工作臺。即可加工各種復雜微曲面機床主軸由1個駐板個臺1個收緊桿和3個蜢動裝置組成。蠕動裝聊置基板和平臺之間。并分，尚聯其上。通過調節蜢動裝置的長度即可實現平臺的2向移動和義。7向的傾斜。電極的進給回退運動即是由這3個蠕動裝置的伸縮復合而成整個七軸的尺寸為1821心228.重6平臺的響應頻率由壓電陶瓷決定。可以達到200.

位置誤差小于3少1和0.04！

多功能微細電火花加工中心技術人學生產技術研允中心咖丁6，0在疑米爾公司的執山，1 2000軸線切割機床的基礎上改進而成的總的來說，與發達國家的差距仍然是很大的，尤其是在技術的產業化方面。因此面對市場需求，我國科技工作者應針對性地深入研究與市場相適應的技農且在微細電火花加工的工業應用方面加快步伐，有針對性地深入研宄微細電火花加工技術與微喂機構微型傳感器微電子技米微型醫療器槭微型執行器微機器人等微型機電系統方而相適應的應用技術。使其正成為推動生產力發展的動力其說理是將1個可回轉主軸頭安裝在線切割機床的上導絲頭上，將1個微線電極磨削裝置安裝在機床的工作臺上，而且該機床還在工件的夾緊系統安裝了回轉裝置，以便加工多種復雜型面該加工中心能實現微線10加工中心的微切割實例切割微型腔加工微線電極磨削微電火花鉆削和統削客種微電火花加，由于該加中心功能眾多，因此非常適合加工各種復雜的型面10是該加工中心在，1厚的薄板上加工出齒厚5砍1的微齒結構是加工出的各種微型結構實例。